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荷蘭 HIGH VOLTAGE 熱陰極潘寧離子源
HIGH VOLTAGE 熱陰極潘寧離子源MODEL SO-100
High Voltage 熱陰極潘寧離子源Model SO-100 主要特點
? 易于操作和維護
? 低功耗
? 燈絲壽命長
? 近光燈發射
? 離子束來自惰性氣體
荷蘭 HIGH VOLTAGE 熱陰極潘寧離子源 概述
HVEE SO-100 大電流離子源是一種熱絲潘寧放電源，用于從 BF3、PF5 （PF3）、SiF4 和 AsF5 等氟化氣體中產生 B+、Si+、P+ 和 As+ 等離子。來自惰性氣體以及 O2 等氣體的光束也很容易產生。
放電由熱鎢絲發射的電子和電弧電源維持，電弧電源將電子加速進入等離子體區域，在那里它們用于電離和分解原料氣中的分子。螺線管產生一個磁場，該磁場由源內的軟鐵形成，用于限制等離子體。從等離子體邊界開始，離子被提取區域的電場提取，形成低發散的離子束。
每個 SO-100 離子源都包含滿足第一需求的備件。
High Voltage Engineering Europa B.V. 提供的其他類型的 pening 離子源包括：
– SO-60 型冷陰極潘寧離子源 – SO-90 型濺射潘寧離子源
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